濺射是一種用帶電粒子轟擊靶材，加速的離子轟擊固體表面時(shí)，發(fā)生表面原子碰撞并發(fā)生能量和動(dòng)量的轉(zhuǎn)移，使靶材原子從表面逸出并淀積在襯底材料上并形成一層膜。
與真空蒸鍍相比，可以形成致密性極好的高精度薄膜。
此外，此外，也可以使用蒸鍍中不能夠使用的高熔點(diǎn)材料，因此它們是目前超LSI和半導(dǎo)體領(lǐng)域不可或缺的材料。